■日時：平成１７年１月２４日（月）１４：００〜１６：４５
■会場：機械振興会館　６−６７会議室（６F)
■演題：「半導体微細加工技術で作るＭＥＭＳ(微小電気機械システム)の産業展開」
　講師：東北大学未来科学技術共同研究センター教授江刺　正喜氏　
■参加費：STF正会員１０００円、BCC受信者１５００円生/一般２０００円　
■講演要旨：
　半導体微細加工を発展させた技術を基本にして高付加価値のシステムデバイスを作る、MEMS (微小電気機械システム)技術について研究している。シリコンのリング回転子が静電力で浮上して回る回転ジャイロなどの慣性センサ、マルチプローブのデータ記録装置やマルチ鏡筒電子線描画装置のような配列構造MEMS、ワイヤレス機器用のオンチップフィルタやリレーのようなRFMEMS、極端に高感度なセンサとしてのマイクロ・ナノプローブ、ロボットのような移動機械のための小形ガスタービンエンジン発電器、あるいは低侵襲医療用の能動カテーテルなどを開発してきた。標準化しにくく少量なためMEMSビジネスは容易ではない。その鍵を握る実装技術や新しいプロセス技術の開発、研究開発の効率向上、設備の有効利用など課題の克服に努めている。
参加申込詳細は：

http://www.mmjp.or.jp/STF/seminar/2005/seminar050124.htm

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